文章摘要:编码器是把角位移或直线位移转换成电信号的一种装置。前者称为码盘,后者称为码尺。按照码盘或码尺材料的不同,可分为光编码器和磁编码器。磁编码器主要是由磁阻传感器、磁码盘、信号处理电路和主体结构等部分组成。将磁码盘刻录成等间距的小磁极,磁极被磁化后,旋转时产生周期分布的空间漏磁场。磁传感器探头通过磁电阻效应将变化着的磁场信号转化为电阻阻值的变化,在外加电势的作用下,变化的电阻值转化成电压的变化,经过后续信号处理电路的处理,模拟的电压信号转化成计算机可以识别的数字信号,实现磁旋转编码器的编码功能。本报告介绍编码器在半导体等高端装备中的重要作用、尤其是介绍磁编码器磁码盘常用的磁性材料以及磁传感器材料及发展趋势,介绍磁传感器材料的制备,着重介绍利用磁控溅射系统制备的纳米磁性薄膜中氧迁移及其对磁性和输运行为的影响。

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论文DOI:10.26914/c.cnkihy.2021.043208

论文分类号:TN304